| Dersin İçeriği |
| Yarıiletkenlerde plazma süreçleri, plazma elektromanyetiği ve devre modelleri, plazma modelleri, plazma kimyası, plazma dağlama işlemi, uzun ortalama serbest yol boyunca yük gecişi, kuyu oluşumu, plazmanın fiziksel tarifi. |
| Haftalık Detaylı Ders İçeriği |
| Hafta |
Detaylı İçerik |
Öğretim Yöntem ve Teknikleri |
| 1 |
Yarıiletkenlerde plazma süreçleri, plazma, materyallerle plazma etkileşmeleri, plazma elektrostatiği, parçacıkların ve enerjinin akışı |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 2 |
Gaz fazında çarpışmalar, basit rasgele hareket, düşük basınçlı plazmada elektronların rasgele hare-ketleri, parçacık akışı, plazmada “feedback”. |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 3 |
Plazma elektromanyetiği ve devre modelleri, devrelerde negative “feedback”, Capacitive boşalma, elektron siklotron rezonans boşalma |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 4 |
Plazma modelleri, Capacitive radyo-frekans boşalma, Capacitive boşalmada lokal ısınma, Capacitive boşalmada lokal olmayan ısınma. |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 5 |
Enerji diffuzyonu, plazma yoğunluğunun profili ve akışı, elektron dağılımı funksyonu ve toplam enerjiye bağlılığı. |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 6 |
Uyarma ve iyonizasyon hızı, yüksek basınçlı boşalma, parçacık hareketi, çarpışmalar, duvar kayıpları, ısınma mekanizmaları |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 7 |
Plazma yüklerinin etkisinden doğan bozulma mekanizması, plazma kimyası, reaksiyon hızı ve tipleri, dağlama reçeteleri, reaktive sputtering. |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 8 |
Ara Sınav |
|
| 9 |
Plazmada gaz karışımı, CF4 plazmadaki süreçler. |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 10 |
Uzun ortalama serbest yolun kimyası, CF4 ortamı için hız, yüzeydeki hızlar, yüzeye yakın iyon davranışı ve yüzey özelliklerin oluşumu, yüzeydeki nötr parçacıkların kinetiği |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 11 |
Kuyu (kanal) oluşumu, nötr parçacıklarla dağlama, yüzey formun hesaplamaları, iyon-kimyasal dağlama ile kuyu oluşumu. |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 12 |
Plazmanın fiziksel tarifi, analitik plazma modelleri, 1D diffuzyonu, adım kaynağı, “basit” kaynaklı 2D diffuzyonu |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 13 |
Plazma içeriği, iki-boyutlu geçiş, deneysel tasarım, plazma özelliklerin ölçümü |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 14 |
Plazmanın hesaplanma modelleri, akıcı modeller, plazmanın Monte Carlo simulasyonu, plazma simulasyonunda “feedback” |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 15 |
Plazmanın hesaplanma modelleri, akıcı modeller, plazmanın Monte Carlo simulasyonu, plazma simulasyonunda “feedback |
Anlatma yöntemi,problem çözme yöntemi,soru cevap |
| 16 |
Final Sınavı |
|
| Ders Kitabı / Yardımcı Kitap |
| 1 |
Plasma Processes for Semiconductor Fabrication: W.N. Hitchon (Cambridge University Press) 1999 |
| 2 |
Plasma Charging Damage, Kin P. Cheung (Springer-Verlag London Limited) 2001 |
| 3 |
Development in atomic plasma spectrochemical analyses, Barmes R.M. (Heyden, San Juan) 1980 |
| Ders Araç - Gereç ve Malzemeleri |
|
