Nevşehir Hacı Bektaş Veli Üniversitesi Bilgi Paketi

Programlar Hakkında Bilgi

FEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜ / EEM-625 - ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜHENDİSLİĞİ ANABİLİM DALI DOKTORA (ÖNERİLEN PROGRAM)

Kodu: EEM-625 Adı: MİKROELEKTRONİK ÜRETİM TEKNOLOJİLERİ Teorik+Uygulama: 3+0 AKTS: 6
Sınıf/Yarıyıl 1 / Güz
Ders Düzeyi Doktora
Ders Türü Seçmeli
Bölümü ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜHENDİSLİĞİ ANABİLİM DALI DOKTORA (ÖNERİLEN PROGRAM)
Ön Koşul Dersleri Yok
Öğretim Sistemi Örgün
Ders Süresi 14 Hafta
Öğretim Elemanı CİHAN ÖNER (cihanoner@nevsehir.edu.tr)
Diğer Öğretim
Elemanı/Elemanları
Öğretim Dili Türkçe
Sınıf Dışı Uygulama/Staj Yok
Dersin Amacı
Bu dersin amacı öğrencileri mikroelektronik alanındaki lider ve inovatif üretim teknolojileri hakkında bilgilendirmek, bu teknolojilerin birbirleri ile olan hiyerarşilerini,üstünlük ve zaaflarını öğrencilere aşılamak, farklı mikroelektronik teknolojilerinde hangi üretim tekniklerinin kullanılması gerekliliğini ve bu teknolojilerin üretimi sonucunda endüstriye ve halk kullanımına katkılarını kavrama yetisi aşılamaktır.

Ders Öğrenme Çıktıları (DÖÇ) ODY
Bu dersi başarı ile tamamlayan öğrenciler:
DÖÇ-1 Farklı mikroelektronik üretim sistemleri hakkında bilgi sahibi olur PÇ-1 Elektrik Elektronik Mühendisliği disiplinine özgü konularda bilimsel araştırmalar yaparak, bu bilgilerin yorumlanması ve uygulama becerilerinin kazanılması.
Yazılı Sınav
DÖÇ-2 Desen aktarımı türevlerinin önemini ve kullanım yerlerini bilir PÇ-1 Elektrik Elektronik Mühendisliği disiplinine özgü konularda bilimsel araştırmalar yaparak, bu bilgilerin yorumlanması ve uygulama becerilerinin kazanılması.
PÇ-2 Mühendislik uygulamalarında karşılaşılan karmaşık problemlerin analizi ve çözümü için gerekli olan modern teknik ve araçları geliştirme, seçme ve kullanma becerisi; bilişim teknolojilerini etkin bir şekilde kullanma becerisine sahiptir.
Yazılı Sınav
DÖÇ-3 Hangi mikroelektrik alanında ne tür yarıiletken malzemeler kullanılması gerektiğini ve bu malzemelerin ne tür proseslerden geçmesi gerektiği bilincine kavuşur PÇ-1 Elektrik Elektronik Mühendisliği disiplinine özgü konularda bilimsel araştırmalar yaparak, bu bilgilerin yorumlanması ve uygulama becerilerinin kazanılması.
PÇ-2 Mühendislik uygulamalarında karşılaşılan karmaşık problemlerin analizi ve çözümü için gerekli olan modern teknik ve araçları geliştirme, seçme ve kullanma becerisi; bilişim teknolojilerini etkin bir şekilde kullanma becerisine sahiptir.
Yazılı Sınav
DÖÇ-4 Mikroelektronik üretim alanında yarıiletken malzeme karakteristiklerinin ne tür etkilerinin olduğunun bilincinde olur PÇ-2 Mühendislik uygulamalarında karşılaşılan karmaşık problemlerin analizi ve çözümü için gerekli olan modern teknik ve araçları geliştirme, seçme ve kullanma becerisi; bilişim teknolojilerini etkin bir şekilde kullanma becerisine sahiptir.
PÇ-9 Mühendislik uygulamalarının evrensel ve toplumsal boyutlarda sağlık, çevre ve güvenlik üzerindeki etkileri ve çağın mühendislik alanına yansıyan sorunları hakkında bilgiye sahiptir.
Yazılı Sınav
PÇ: Bölüm program çıktıları
ÖDY: Ölçme ve değerlendirme yöntemi

Dersin İçeriği
Bu ders, öğrencilere Sıcak İşleme, Difüzyon, Termal Oksidasyon, İyon İmplantasyonu, Hızlı Termal Tavlama, Desen Aktarımı, Optik Litografi, Fotorezistler, E-beam ve X-ray Litografisi, Vakum Bilimi ve Plazma, Aşındırma, İnce Film Püskürtme, Kimyasal Buhar Biriktirme, Epitaksiyel Büyüme konularını detaylı bir şekilde incelemek ve tartışmak üzerine yapılandırılmıştır.
Haftalık Detaylı Ders İçeriği
Hafta Detaylı İçerik Öğretim Yöntem ve Teknikleri
1 Sıcak İşlemeye Giriş Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
2 Difüzyon Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
3 Termal Oksidasyon Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
4 İyon İmplantasyonu Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
5 Hızlı Termal Tavlama Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
6 Desen Aktarımına Giriş Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
7 Optik Litografi Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
8 Ara Sınav
9 Fotorezistler Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
10 E-beam ve X-ray Litografileri Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
11 Vakum Bilimi ve Plazma Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
12 Aşındırma Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
13 İnce Film Püskürtme Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
14 Kimyasal Buhar Biriktirme Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
15 Epitaksiyel Büyüme Anlatım, Soru-cevap, Tartışma
16 Final Sınavı
Ders Kitabı / Yardımcı Kitap
1 Campbell, Fabrication Engineering at the Micro and Nanoscale, (4th), Oxford University Press, 2012.
2 J.-P. Colinge, C. A. Colinge, Yarıiletken Devre Elemanları Fiziği, Nobel Akademik Yayıncılık, 2011.
Ders Araç - Gereç ve Malzemeleri
Ders kitabı, dizüstü bilgisayar, projeksiyon cihazı

Ölçme Yöntemi
Yöntem Hafta Süre (Saat) Katkı(%)
Ara Sınav 8 1 40
Diğer Ölçme Yöntemleri
1.Sözlü Sınav
2.Kısa Sınav (Quiz)
3.Laboratuvar Sınavı
4.Sunum
5.Rapor
6.Seminer
7.Performans Ödevi
8.Dönem Ödevi
9.Proje
Final Sınavı 16 1 60

Öğrenci İş Yükü
İşlem Adı Haftalık Saat Sayı İş Yükü
Haftalık Ders Saati (Teorik+Uygulama) 3 14 42
Sınıf Dışı Çalışma
       a) Okuma 3 18 54
       b) İnternette/Kütüphanede Tarama 3 18 54
       c) Performans Ödevi 0
       d) Seminer/Sunum/Rapor Hazırlama 0
       e) Dönem Ödevi/Proje Hazırlama 0
Sözlü Sınav 0
Kısa Sınav (Quiz) 0
Laboratuvar Sınavı 0
Ara Sınav İçin Hazırlık 1 14 14
Ara Sınav 1 1 1
Final Sınavı İçin Hazırlık 1 14 14
Final Sınavı 1 1 1
0
0
Toplam İş Yükü 180