Ders Öğrenme Çıktıları (DÖÇ) |
PÇ |
ODY |
Bu dersi başarı ile tamamlayan öğrenciler: |
|
|
DÖÇ-1 |
Farklı mikroelektronik üretim sistemleri hakkında bilgi sahibi olur |
PÇ-1 Elektrik Elektronik Mühendisliği disiplinine özgü konularda bilimsel araştırmalar yaparak, bu bilgilerin yorumlanması ve uygulama becerilerinin kazanılması.
|
Yazılı Sınav |
DÖÇ-2 |
Desen aktarımı türevlerinin önemini ve kullanım yerlerini bilir |
PÇ-1 Elektrik Elektronik Mühendisliği disiplinine özgü konularda bilimsel araştırmalar yaparak, bu bilgilerin yorumlanması ve uygulama becerilerinin kazanılması. PÇ-2 Mühendislik uygulamalarında karşılaşılan karmaşık problemlerin analizi ve çözümü için gerekli olan modern teknik ve araçları geliştirme, seçme ve kullanma becerisi; bilişim teknolojilerini etkin bir şekilde kullanma becerisine sahiptir.
|
Yazılı Sınav |
DÖÇ-3 |
Hangi mikroelektrik alanında ne tür yarıiletken malzemeler kullanılması gerektiğini ve bu malzemelerin ne tür proseslerden geçmesi gerektiği bilincine kavuşur |
PÇ-1 Elektrik Elektronik Mühendisliği disiplinine özgü konularda bilimsel araştırmalar yaparak, bu bilgilerin yorumlanması ve uygulama becerilerinin kazanılması. PÇ-2 Mühendislik uygulamalarında karşılaşılan karmaşık problemlerin analizi ve çözümü için gerekli olan modern teknik ve araçları geliştirme, seçme ve kullanma becerisi; bilişim teknolojilerini etkin bir şekilde kullanma becerisine sahiptir.
|
Yazılı Sınav |
DÖÇ-4 |
Mikroelektronik üretim alanında yarıiletken malzeme karakteristiklerinin ne tür etkilerinin olduğunun bilincinde olur |
PÇ-2 Mühendislik uygulamalarında karşılaşılan karmaşık problemlerin analizi ve çözümü için gerekli olan modern teknik ve araçları geliştirme, seçme ve kullanma becerisi; bilişim teknolojilerini etkin bir şekilde kullanma becerisine sahiptir. PÇ-9 Mühendislik uygulamalarının evrensel ve toplumsal boyutlarda sağlık, çevre ve güvenlik üzerindeki etkileri ve çağın mühendislik alanına yansıyan sorunları hakkında bilgiye sahiptir.
|
Yazılı Sınav |
PÇ: Bölüm program çıktıları ÖDY: Ölçme ve değerlendirme yöntemi |
Dersin İçeriği |
Bu ders, öğrencilere Sıcak İşleme, Difüzyon, Termal Oksidasyon, İyon İmplantasyonu, Hızlı Termal Tavlama, Desen Aktarımı, Optik Litografi, Fotorezistler, E-beam ve X-ray Litografisi, Vakum Bilimi ve Plazma, Aşındırma, İnce Film Püskürtme, Kimyasal Buhar Biriktirme, Epitaksiyel Büyüme konularını detaylı bir şekilde incelemek ve tartışmak üzerine yapılandırılmıştır. |
Haftalık Detaylı Ders İçeriği |
Hafta |
Detaylı İçerik |
Öğretim Yöntem ve Teknikleri |
1 |
Sıcak İşlemeye Giriş |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
2 |
Difüzyon |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
3 |
Termal Oksidasyon |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
4 |
İyon İmplantasyonu |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
5 |
Hızlı Termal Tavlama |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
6 |
Desen Aktarımına Giriş |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
7 |
Optik Litografi |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
8 |
Ara Sınav |
|
9 |
Fotorezistler |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
10 |
E-beam ve X-ray Litografileri |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
11 |
Vakum Bilimi ve Plazma |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
12 |
Aşındırma |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
13 |
İnce Film Püskürtme |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
14 |
Kimyasal Buhar Biriktirme |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
15 |
Epitaksiyel Büyüme |
Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
16 |
Final Sınavı |
|
Ders Kitabı / Yardımcı Kitap |
1 |
Campbell, Fabrication Engineering at the Micro and Nanoscale, (4th), Oxford University Press, 2012. |
2 |
J.-P. Colinge, C. A. Colinge, Yarıiletken Devre Elemanları Fiziği, Nobel Akademik Yayıncılık, 2011. |
Ders Araç - Gereç ve Malzemeleri |
Ders kitabı, dizüstü bilgisayar, projeksiyon cihazı |